Huahao Sealing поставляет уплотнительные кольца и подшипники из углеродного графита сверхвысокой чистоты для сухих вакуумных насосов полупроводникового оборудования, механических вакуумных насосов и вращающихся уплотнений камер плазменного травления. Нулевое вымывание ионов металлов, отсутствие загрязнения смазкой, соответствие требованиям SEMI, рассчитаны на сверхвысокий вакуум 10⁻⁹ Torr и коррозионно-активные технологические газы (CF₄, SF₆).
Сухие вакуумные насосы работают при сверхвысоком вакууме 10⁻⁹ Torr; газовыделение уплотнений загрязняет процессы обработки пластин
В камерах плазменного травления используются коррозионно-активные технологические газы CF₄, SF₆, ClF₃, химически разрушающие материалы уплотнений
При производстве пластин недопустимо загрязнение ионами металлов; вымывание ионов меди и железа из металлических подшипников приводит к критическим дефектам
Высокотемпературная дегазация при прогреве (150-200°C) сочетается с высокой скоростью (4000-6000 rpm); уплотнения теряют термостабильность
Сорта углеродного графита сверхвысокой чистоты, содержание золы ≤0.002%, нулевое вымывание ионов металлов, соответствие стандарту SEMI F57
Сорта с пропиткой смолой, без газовыделения и испарения смазки, для работы в сверхвысоком вакууме
Химическая инертность углеродного графита обеспечивает стойкость к воздействию CF₄, SF₆ и других фторсодержащих химически активных газов плазмы
В паре с ответной поверхностью из SiC с высокой теплопроводностью для отвода тепла при высокой скорости и прогреве
| Vacuum Level | 10⁻⁹ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | CF₄, SF₆, ClF₃, N₂, Ar plasma |
| Ash Content | ≤ 0.002% |
| Standard | SEMI F57 |
No. Ultra-high-purity grades have ash content ≤0.002%, zero metal-ion leaching, meeting SEMI F57. Resin-impregnated grades have zero outgassing and zero grease volatilization for 10⁻⁹ Torr UHV service.
Carbon graphite is chemically inert and withstands CF₄, SF₆ and fluorine plasma attack. However, prolonged strong-oxidizer plasma may graphitize the surface; select high-density impregnated grades for durability.
BIA series high-purity carbon graphite seal ring with SiC mating face. SiC high thermal conductivity dissipates friction heat; graphite self-lubrication lowers friction coefficient for 6000 rpm service.
Resin-impregnated grades leave no volatile residue after bake-out, with stable performance. Anti-oxidation impregnated grades are rated 350-500°C; 200°C bake-out is well within limits with no impact.
Submit your duty parameters — our engineers reply with grade selection and quotation within 24 hours.
