Huahao Sealing은 진공 펌프용 카본 그라파이트 씰 링, 베인 및 베어링을 제공합니다. 건식 메커니컬 진공 펌프, 로터리 베인 펌프 및 루츠 펌프에 적합합니다. 카본 그라파이트의 자기 윤활성으로 진공 시스템의 오일 오염을 방지하며, 낮은 가스 방출률의 고순도 등급은 10⁻⁶ Torr의 고진공에 적합하고, 350°C 내열 등급은 베이크아웃 탈기 공정에 적합합니다.
오일 윤활식 진공 펌프의 오일 증기가 진공 시스템과 공정 제품을 오염시켜 청정 진공 요건을 충족하지 못함
10⁻⁶ Torr의 고진공 환경에서는 씰의 가스 방출로 진공도가 저하되고 공정이 오염됨
고속(3000-6000 rpm)으로 작동하는 건식 진공 펌프에서 건식 마찰로 상당한 열이 발생해 씰이 빠르게 마모됨
200-350°C의 베이크아웃 탈기 공정에서 일반 씰 재료가 산화되고 탄성을 잃음
카본 그라파이트의 자기 윤활성으로 무급유 운전이 가능해져 건식 청정 진공 시스템의 오일 증기 오염을 완전히 제거함
낮은 가스 방출률의 고순도 카본 그라파이트 등급은 10⁻⁶ Torr의 고진공 환경에 적합함
열전도율이 높은 SiC 상대면과 조합해 고속 건식 마찰 운전 시 열을 방출함
내산화성 함침 등급은 350°C 내열 성능으로 베이크아웃 탈기 공정에 적합함
| Vacuum Level | 10⁻⁶ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | Air, N₂, Ar, process gases |
| Grade | M106K (Resin) / M106H (Sb) |
| Outgassing | Low (ASTM E595) |
Carbon graphite self-lubrication enables oil-free operation, completely eliminating oil vapor contamination of vacuum systems. High-purity grades with low outgassing suit 10⁻⁶ Torr high vacuum — ideal for dry clean vacuum pumps.
BIA series carbon graphite seal rings with SiC mating face. SiC high thermal conductivity dissipates heat from high-speed dry friction; graphite self-lubrication lowers friction coefficient for 6000 rpm dry running.
Anti-oxidation impregnated grades rated 350°C maintain stable performance after bake-out. Resin-impregnated grades leave no volatile residue after bake-out. Both suit vacuum pump bake-out processes.
Rotary vane vacuum pumps and Roots pumps. Carbon graphite vanes are self-lubricating and oil-free, paired with cast iron or SiC cylinders, with low wear rate in dry friction, extending vane replacement cycles beyond 12 months.
