Huahao Sealingは、真空ポンプ向けのカーボングラファイト製シールリング、ベーン、ベアリングを提供しています。ドライメカニカル真空ポンプ、ロータリーベーンポンプ、ルーツポンプに対応します。カーボングラファイトの自己潤滑性により、真空システムへの油汚染を防止します。低アウトガスの高純度グレードは10⁻⁶ Torrの高真空に適し、350°Cの耐熱仕様はベーキング脱ガス工程に対応します。
油潤滑式真空ポンプでは油蒸気が真空システムやプロセス製品を汚染し、クリーンな真空の要件を満たせない
高真空（10⁻⁶ Torr）環境ではシールからのアウトガスが真空度を低下させ、プロセスを汚染する
高速（3000-6000 rpm）運転のドライ真空ポンプでは、乾式摩擦によって大きな熱が発生し、シールが急速に摩耗する
200-350°Cのベーキング脱ガス工程では、標準的なシール材が酸化し、弾性を失う
カーボングラファイトの自己潤滑性によりオイルフリー運転が可能となり、油蒸気による汚染を完全に排除して、ドライクリーン真空システムを実現
アウトガス率の低い高純度カーボングラファイトグレードは、10⁻⁶ Torrの高真空環境に適する
熱伝導率の高いSiC摺動相手面と組み合わせ、高速乾式摩擦運転時の放熱に対応
耐酸化性含浸グレードは350°Cに対応し、ベーキング脱ガス工程に適する
| Vacuum Level | 10⁻⁶ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | Air, N₂, Ar, process gases |
| Grade | M106K (Resin) / M106H (Sb) |
| Outgassing | Low (ASTM E595) |
Carbon graphite self-lubrication enables oil-free operation, completely eliminating oil vapor contamination of vacuum systems. High-purity grades with low outgassing suit 10⁻⁶ Torr high vacuum — ideal for dry clean vacuum pumps.
BIA series carbon graphite seal rings with SiC mating face. SiC high thermal conductivity dissipates heat from high-speed dry friction; graphite self-lubrication lowers friction coefficient for 6000 rpm dry running.
Anti-oxidation impregnated grades rated 350°C maintain stable performance after bake-out. Resin-impregnated grades leave no volatile residue after bake-out. Both suit vacuum pump bake-out processes.
Rotary vane vacuum pumps and Roots pumps. Carbon graphite vanes are self-lubricating and oil-free, paired with cast iron or SiC cylinders, with low wear rate in dry friction, extending vane replacement cycles beyond 12 months.
