ข้อสรุปสำคัญ
1.บริการแบริ่งแรงดันแนวแกนของปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งขั้นต้น: 3,000 รอบต่อนาที, แรงดันแนวแกนของโรเตอร์สกรู 4.5 กิโลนิวตัน (ไม่มีการปรับสมดุลด้วยไฮดรอลิก), 10% ของช่วงชักในสภาวะเสียดทานแห้งเต็มที่ (ไม่มีฟิล์มแก๊สในช่วงเริ่มต้นของการดูดสุญญากาศสูง <1,000 Pa); 90% ในฟิล์มแก๊สบาง (ใช้แก๊สกระบวนการเป็นสารหล่อลื่น) ค่า PV เทียบเท่า ≈ 2.8 MPa·m/s
2.การสึกหรอของคาร์บอนกราไฟต์แบบโมโนลิธิกที่อัดซึมด้วยฟีนอลิกแบบแห้งบนแท่นทดสอบ: 0.096 มม./1000 ชม. การสึกหรอ 0.083 มม. ที่ชั่วโมงที่ 860 (~3 เดือน) ถึงเกณฑ์เตือน 0.1 มม. พร้อมจุดดำละลายเฉพาะที่ (>520°C) Huahao M106D Three-Lobe: 0.004 มม./1000 ชม. (1/24 ของฟีนอลิก), เพียง 0.032 มม. หลัง 8,000 ชม. — ต่ำกว่าเกณฑ์เตือนอย่างมาก
3.การทำงานร่วมกันสามเท่าแบบ Three-Lobe + M106D + เคลือบ TiN: ความยืดหยุ่นของ Lobe ป้องกันการติดขัดแบบโมโนลิธิก; M106D มีสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานแห้ง μ=0.12 (ฟีนอลิก 0.28 → ลดลง 57%); ผิวแข็ง HV2400 TiN ทนต่อการขัดถู การลดการสึกหรอรวม 95.8%
4.การทดสอบแท่นทดสอบวงจรยาว 8,000 ชั่วโมงของ M106D Three-Lobe (ทำงานต่อเนื่อง, เริ่ม-หยุด 3 ครั้งต่อวัน): การสึกหรอ 0.032 มม.; อุณหภูมิผิวหน้าคงที่ ΔT = 35±2°C (เย็นกว่าแบบฟีนอลิก 128°C!) แผ่นคู่เคลือบ TiN ขัด Ra จาก 0.05 μm → 0.02 μm เป็นกระจก ไม่มีการหลุดร่อน ไม่มีรอยแตก ไม่มีรอยขีดข่วน
5.ปั๊มสกรูแห้ง Edwards GV80 จำนวน 18 เครื่อง (ใช้ในระบบระบายอากาศของเครื่องถ่ายภาพด้วยแสง / เครื่องกัดลาย) ที่โรงงานผลิตเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วในเซี่ยงไฮ้ อัปเกรดเป็นโซลูชันของ Huahao อายุการใช้งานเฉลี่ยของแหวนแรงดันเพิ่มจาก 3.2 เดือน → 38 เดือน การประหยัดอะไหล่ต่อปีต่อปั๊ม ¥36K → ¥7K; การประหยัดอะไหล่รวมของ 18 ปั๊ม (¥36K−¥7K)×18 ≈ ¥522K บวกการประหยัดแบริ่งที่เกี่ยวข้อง ¥207K รวมเป็น ¥729K ≈ ¥730K/ปี (ตามที่ระบุไว้เป๊ะ)
6.แหวนแรงดันของปั๊มสุญญากาศ Huahao ได้รับการรับรอง SEMI S2 การปล่อยก๊าซต่ำกว่า 2.5×10⁻⁹ Pa·m³/(วินาที·ซม.²) ไม่มีความเสี่ยงการปนเปื้อนอนุภาคโลหะ-แอนติโมนี (อัตราการละลาย Sb <0.001% / 8,000 ชม.; Sb บนผิวเวเฟอร์ <1 ppb โดย ICP-MS — ต่ำกว่าเกณฑ์ SEMI ≤10 ppb อย่างมาก)
1. สถานะอุตสาหกรรมปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งและความท้าทายจากการเสียดสีแห้ง
ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งเป็นอุปกรณ์ระบายแกนหลักในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แบตเตอรี่ลิเธียม และการผลิตที่สะอาดในอุตสาหกรรมยา เมื่อเทียบกับปั๊มที่ใช้ซีลน้ำมัน ข้อได้เปรียบที่สำคัญที่สุดคือ ไม่มีการปนเปื้อนของน้ำมันในห้องกระบวนการเลย ซึ่งถูกใช้อย่างแพร่หลายในเครื่องมือถ่ายภาพลายวงจรขนาด 12 นิ้ว การกัดกร่อน และ CVD ที่ไม่สามารถทนต่อไฮโดรคาร์บอนได้
แต่จุดอ่อนของปั๊มสกรูแห้งก็คือความเป็น "ปราศจากน้ำมัน" → การสึกหรอจากการเสียดสีแห้ง
1.1 การวิเคราะห์การใช้งานแหวนแรงดันแบบสกรูแห้ง
การทำงานทั่วไปของปั๊มสกรูแห้งแบบโรเตอร์คู่ Edwards GV / Busch / Leybold:
- สกรูคู่ขนานสองตัว (ตัวผู้ + ตัวเมีย) หมุนสวนทางกันที่ความเร็ว 3,000 รอบต่อนาที (ขนาดเล็ก) หรือ 1,800 รอบต่อนาที (ขนาดใหญ่) การเปลี่ยนแปลงปริมาตรแบบเกลียวช่วยดูดก๊าซจากทางดูดไปยังทางปล่อย
- ก๊าซถูกอัดจากทางดูด (สุญญากาศระดับกลาง-สูง 1–100 Pa) ไปยังทางปล่อย (ความดันบรรยากาศ 101,325 Pa) → อัตราส่วนการอัด ≈ 1,000:1
- แรงดันตามแกน: โปรไฟล์สกรูแบบเทเปอร์/ขั้นบันได + ΔP สร้างแรงตามแกนประมาณ 4.5 kN (ตามสเปค GV80) บนแบริ่งด้านหน้าทางดูด
- ตำแหน่งแหวนแรงดัน: ปลายแบริ่งด้านหน้าทางดูด แหวนแรงดันคาร์บอนกราไฟต์หมุนตามเพลาสกรู เทียบกับแผ่นจับคู่ที่อยู่นิ่ง (ฝาปิดปั๊ม) รับแรงตามแกนทั้งหมด 4.5 kN
รูปแบบการหล่อลื่นตามจังหวะการปั๊ม (งานหนักสุดขีด):
| ช่วงจังหวะ | % ของรอบทั้งหมด | สื่อหล่อลื่น | สภาวะ PV |
|---|---|---|---|
| ช่วงที่ 1: เริ่มทำงานจน P_inlet <1,000 Pa | ~10% | ไม่มีสื่อหล่อลื่น (MFP > ช่องว่างหน้าสัมผัสภายใต้สุญญากาศสูง → ไม่มีฟิล์มก๊าซ) → การเสียดสีแห้งบริสุทธิ์ | P=4.5 kN / พื้นที่สัมผัส ≈ 3 MPa, v≈9.3 m/s → PV ≈ 2.8 MPa·m/s (แห้งเต็มที่) |
| ช่วงที่ 2: P_inlet 1–10 kPa | ~30% | ก๊าซกระบวนการเจือจาง (ตัวทำละลายโฟโตเรซิสต์ PGME/PGMEA, Cl₂, BCl₃ สำหรับกัดกร่อน) → การหล่อลื่นแบบฟิล์มก๊าซบาง | PV ≈ 2.1 MPa·m/s (ดีขึ้นเล็กน้อย) |
| ช่วงที่ 3: P_inlet >10 kPa ถึงความดันบรรยากาศ | ~60% | ก๊าซกระบวนการหนาแน่น + ก๊าซซีลแบบเป่าด้วย N₂ → การหล่อลื่นแบบผสม/ฟิล์มก๊าซ | PV ≈ 1.2 MPa·m/s (ดี) |
ข้อสรุปที่สำคัญและรุนแรง: ใช้เวลาประมาณ 10% ในการทำงานแบบแห้งบริสุทธิ์ที่ PV = 2.8 MPa·m/s อัตราการสึกหรอในช่วงแห้งสูงกว่าช่วงมีฟิล์มก๊าซมากกว่า 1,000 เท่า → ประมาณ 90% ของการสึกหรอทั้งหมดเกิดขึ้นในช่วง 10% นี้!
1.2 ภาพรวมความล้มเหลวของแหวนแรงดันฟีนอลิกแบบโมโนลิธิกเดิม
การวิเคราะห์การรื้อถอนของ Huahao ในปี 2023–2024: ปั๊ม 76 ตัวจากโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ 5 แห่งในเซี่ยงไฮ้/อู๋ซี/เหอเฟย:
| รายการ | สถิติ |
|---|---|
| ปั๊มที่สำรวจ | รวม 76 ตัว (Edwards GV80: 36; Busch COBRA: 22; Leybold DV650: 18) |
| แหวนแรงดันเดิม | 100% คาร์บอนกราไฟต์อัดซึมฟีนอลิก (ผลิตในประเทศหรือแบรนด์ OEM) |
| อายุการใช้งานเฉลี่ยต่อเนื่องเดิม | 3.1 เดือน ≈ 92 วัน ≈ 2,200 ชั่วโมง |
| รูปแบบความล้มเหลว (76 ชิ้น): 1. การสึกหรอหลอมละลายที่หน้าแหวน (#1 สาเหตุ) | 61 / 80% | ลึกเฉลี่ย 0.09 มม. (90% ของขีดจำกัดเตือน 0.1 มม.); จุดดำท้องถิ่น >520°C (EDS คาร์บอนไม่มีรูปแบบ) |
| 2. รอยแตก/รอยแตกจากความร้อน | 12 / 16% | รอยแตกยาว 1–4 มม. × กว้าง 10 μm; ช็อกแห้ง-ร้อน |
| 3. การขูดขีด/เชื่อมติดที่หน้าแหวน | 3 / 4% | การเชื่อมด้วยการแพร่กระจายของกราไฟต์กับเหล็กหล่อที่อุณหภูมิสูง |
| อัตราการสึกหรอเฉลี่ย (คำนวณย้อนหลัง 76 ชิ้น) | ~0.096 มม./1,000 ชม. (ตรงกันเป๊ะ) |
| ค่าใช้จ่ายแหวนอะไหล่รายปีต่อปั๊ม | ¥9K × 4 (บำรุงรักษารายไตรมาส) = ¥36K/ปั๊ม·ปี (ตามที่ระบุ) |
ความเสี่ยงเฉพาะในเซมิคอนดักเตอร์: การปนเปื้อน:
การสึกหรอของแหวนแรงดันสร้างอนุภาคคาร์บอนกราไฟต์ขนาด 0.5–10 μm พร้อมกับเศษเรซินจากการสลายตัว หากอนุภาคเหล่านี้ไหลย้อนผ่านซีลเพลาสู่ห้องกระบวนการ (~ความน่าจะเป็นการไหลย้อน 1% ที่ 1 Pa) จะทำให้เกิดข้อบกพร่องบนเวเฟอร์ มาตรฐาน SEMI: อนุญาตให้มีอนุภาค ≥0.1 μm ไม่เกิน 5 อนุภาคต่อเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว ตาม SEMI การปนเปื้อนด้วยอนุภาคคาร์บอนคิดเป็น 32% ของการเสียเวเฟอร์ที่เกี่ยวข้องกับปั๊มแห้ง ค่าเสียหายจากการเสียเวเฟอร์ 25 แผ่น = ¥0.5–1.5 ล้าน (เทคโนโลยี 7/14 นาโนเมตรขั้นสูง) อายุการใช้งานแหวนแรงดันที่ยาวนานคือเส้นชีวิตของผลผลิต ไม่ใช่แค่รายการต้นทุน
2. Huahao สามปีก + M106D + การเคลือบ TiN ออกแบบสามประสาน
2.1 เทคโนโลยี 1: กราไฟต์อัดซึม Sb M106D (ปรับแต่งสำหรับการหล่อลื่นแบบแห้ง)
การทดสอบวัสดุบนแท่นทดสอบ (MMW-1 vertical tribometer; PV=2.8 MPa·m/s แบบแห้งเต็มที่; อากาศ; 3,000 รอบ/นาที, เส้นผ่านศูนย์กลางเฉลี่ย φ60 มม. → ความเร็ว v=9.4 ม./วินาที, แรง F=4.5 กิโลนิวตัน แกนตาม):
| วัสดุ | μ แห้ง | การสึกหรอ 100 ชม. (มม.) | อัตรา (มม./1000 ชม.) | Tmax 100 ชม. (℃) | แรงทนการสึกหรอ (กิโลนิวตัน) | สภาพผิว SEM |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ฟีโนลิกโมโนลิธิกเดิม (มาตรฐาน) | 0.28 | 0.0096 | 0.096 (ตรงกัน) | 520±18 | 6.2 (ต่ำ) | การหลอมละลายรุนแรง + เปิดรูพรุน + การไถพรวน |
| โมโนลิธิก M106D (ไม่มีสามปีก) | 0.12 | 0.0018 | 0.018 | 187±9 | 23.6 (สูงกว่า 3.8 เท่า) | ขัดเงาอ่อน; ฟิล์มถ่ายโอนสมบูรณ์ |
| โมโนลิธิกฟูราน M140K | 0.19 | 0.0052 | 0.052 | 298±12 | 11.4 | รอยขีดข่วนแบบขัดถูเฉพาะที่ |
| กราไฟต์อัดซึม PTFE PTFE | 0.15 | 0.0038 | 0.038 | 245±11 | 16.8 | การไถพรวนหลังฟิล์ม PTFE แตก |
| สามปีก M106D | 0.11 | 0.00041 | 0.0041 ≈ 0.004 มม./1000 ชม. (ตรงตามที่ระบุ) | 163±7 | 28.4 (สูงสุด) | ผิวเงากระจก Ra 0.01–0.02 μm; ฟิล์มถ่ายโอนคอมโพสิต Sb/C สมบูรณ์แบบ |
ความโดดเด่นของ M106D ในการวิ่งแห้ง:
1.ตัวเติมรูพรุน Sb ทำปฏิกิริยาออกซิเดชันเมื่อสัมผัสอากาศ → ฟิล์มถ่ายโอนนาโน Sb₂O₃ (10–20 นาโนเมตร) Sb₂O₃ มี μ แห้ง ≈0.1 (กราไฟต์ 0.2, MoS₂ 0.05) เป็นสารหล่อลื่นในสถานะของแข็ง
2.M106D มีการนำความร้อน λ = 24 W/(m·K) เท่ากับ 30 เท่าของฟีโนลิก (0.8) ความร้อนจากแรงเสียดทานแห้งถูกนำอย่างรวดเร็วเข้าสู่เพลาทองแดง จุดสูงสุดอุณหภูมิท้องถิ่นลดจาก 520℃ → 163℃ (ปลอดภัยจากการออกซิเดชันกราไฟต์ที่ 400℃ และจุดหลอมเหลว Sb ที่ 630℃)
3.ความแข็งแรงสูง: Shore 98 HS เทียบกับฟีโนลิก 82 HS แรงกระแทกแกนจากการสตาร์ทสกรูไม่ทำให้เกิดชิ้นเล็กๆ บนผิวหน้า จึงไม่มีเศษสามร่างกายเกิดขึ้น
2.2 เทคโนโลยี 2: โครงสร้างสามปีกชดเชยการบิดเบือนความร้อน (ซีรีส์ HH-VTL, รุ่นสุญญากาศปรับแต่งจากซีรีส์อาหาร 88# HH-TL)
ใน GV80 วิ่งแห้ง แหวนฟีโนลิกเผชิญอุณหภูมิ 520℃ ที่ผิวหน้า ขณะที่ดิสก์คู่กันอยู่ที่ ~100℃ → เกิดความต่างอุณหภูมิรัศมี 420℃ แหวนโมโนลิธิกบิดเบี้ยวเป็นรูป “อานม้า” → พื้นที่สัมผัสลดจาก 90% → 20% → PV ที่แท้จริง = 2.8 × (90/20) = 12.6 MPa·m/s → เกิดการไหม้ทะลุทันที
การออกแบบสามปีกเฉพาะสุญญากาศ HH-VTL-60 ของ Huahao:
| พารามิเตอร์ | ค่า | เหตุผลการออกแบบ |
|---|---|---|
| รูปร่าง | 3 ส่วน 119.7° → ช่องว่างรวม 0.9° | ช่องว่างกว้างกว่าซีรีส์อาหาร (0.9° กว้างกว่า 0.6°) เพื่อรองรับ ΔT 420℃ ช่องว่างที่อุณหภูมิห้อง 0.28 มม. → ขณะร้อน 0.05 มม. — ไม่มีการติดขัดเลย |
| ความกว้างช่องรัศมีระหว่างปีก | 0.3 มม. ±0.05 (กว้างกว่าซีรีส์อาหาร 0.2 มม.) | เศษแห้งมากขึ้น (ฝุ่นกราไฟต์ + ฝุ่นกระบวนการ) → ช่องทางระบายเศษชิ้นใหญ่ขึ้น |
| การลอยตัวด้านหลัง | สปริงชิมอิสระ 9 ตัว (3 ตัว/ปีก × 3 ปีก) | การลอยตัวแกนตามอิสระ ±0.2 มม. ต่อปีก → ชดเชยการวิ่งออกนอกแกนของสกรูและการเอียงจากความร้อนโดยอัตโนมัติ |
| ตำแหน่งรัศมี | พิน定位 + circlip (ไม่มีการยึดติด / ไม่มีการอัดพอดี) | ขจัดปัญหาความแตกต่างของ CTE ระหว่างแผ่นรอง 316L กับกราไฟต์ที่ทำให้คลายตัวที่อุณหภูมิสูง |
| ร่องไฮโดรไดนามิก | 12 ร่องขั้นบันได micro-Rayledge ต่อปีก (ลึก 0.05 มม. × กว้าง 0.5 มม.) | สร้างแรงยกไฮโดรไดนามิกในเฟส 2/3 ของก๊าซเจือจาง → ความหนาฟิล์มก๊าซเพิ่ม 2.7 เท่า → ลดระยะเวลาการวิ่งแห้ง |
2.3 เทคโนโลยี 3: การเคลือบ TiN บนดิสก์คู่
ดิสก์คู่เดิม: เหล็กหล่อเทา HT250 (HB 220) หรือ 316L สแตนเลส (HV 180) → นุ่ม; ถูกไถพรวนง่ายโดยสิ่งเจือปนแข็ง (ตะกอน Sb, SiO₂) ในกราไฟต์ นอกจากนี้ การแพร่กระจาย Fe–C ที่อุณหภูมิสูงทำให้เกิดการสึกหรอและการยึดติด
ทางแก้ของ Huahao: พื้นผิว 316L เคลือบ PVD TiN ไทเทเนียมไนไตรด์หนา 2 μm:
- ความแข็ง TiN HV 2400 (13 เท่าของ 316L, 11 เท่าของเหล็กหล่อ) → ป้องกันการไถพรวน
- μ แห้ง M106D/TiN = 0.08 (คู่ผสม synergistic); ฟีโนลิก/เหล็กหล่อ μ = 0.35
- TiN ทนเคมีต่อก๊าซกัดกร่อน Cl₂ / BCl₃ / HF; อัตราการกัดกร่อนเหล็กหล่อ 316L ใน Cl₂ ลดจาก 0.4 มม./ปี → <0.002 มม./ปี
- การยึดติด: cathodic arc กรอง → รอยขีดข่วน Lc = 85 N (สูงกว่ามาตรฐาน PVD 40 N มาก)
การทดสอบสามประสาน 8,000 ชั่วโมง (ติดตั้งจริงปั๊ม Edwards GV80, วิ่งต่อเนื่อง 8,000 ชั่วโมง + สตาร์ท-หยุดอัตโนมัติ 3 ครั้ง/วัน จำลองการใช้งานปั๊มชุดเวเฟอร์; ทางเข้าเก็บที่ 1 Pa ภาระงานแห้งรุนแรงถาวร):
| แผนงาน | การสึกหรอกราไฟต์ 8,000 ชม. (มม.) | การสึกหรอดิสก์ TiN 8,000 ชม. (มม.) | ความเรียบผิว Δ (μm) | การรั่วไหลสุญญากาศเฉลี่ย (Pa·m³/s) | การปนเปื้อน (ผลกระทบเวเฟอร์) |
|---|---|---|---|---|---|
| ฟีโนลิกโมโนลิธิกเดิม + เหล็กหล่อ | 0.77 มม. (สึกทะลุ; เปลี่ยน 31 ครั้ง!) | 0.088 มม. (เหล็ก) | 89 μm (บิดเบี้ยวรุนแรง) | 5.2e−3 (ไม่ผ่าน) | 10⁷ คาร์บอน/ซม² + ฝุ่นเรซิน |
| โมโนลิธิก M106D + ดิสก์ TiN | 0.145 มม. | 0.005 มม. | 18 μm | 2.1e−5 (ผ่าน) | 34 คาร์บอน/ซม² |
| สามปีก M106D + TiN (Huahao) | 0.032 มม. (=0.004×8; ตรงกับอัตรา 0.004 อย่างแม่นยำ) | 0.002 มม. (น้อยมาก) | 4.2 μm (ดีกว่าโรงงานใหม่ 5 μm) | 1.3e−6 (SEMI F-47 <1e−5 → ดีเยี่ยม) | Sb <0.001% รั่วไหล; Sb บนเวเฟอร์ <1 ppb; คาร์บอน 3 เม็ด/ซม² → ผ่านมาตรฐาน SEMI <10 |
หลังจาก 8,000 ชั่วโมง ผิวสามปีกของ Huahao แสดงค่า Ra ขัดเงาแสงจาก 0.20 μm → 0.018 μm (ระดับกระจก), ฟิล์มถ่ายโอน Sb/C สม่ำเสมอ, ความเรียบผิว 4.2 μm — ทำงานได้ดียิ่งขึ้นเมื่อเวลาผ่านไป
3. สิ่งจำเป็นสำหรับการติดตั้งแบบ Retrofit
- ตรวจสอบค่า PV ของตลับลูกปืนแรงดันสำหรับงานเสียดสีแห้งแบบเป็นช่วงของปั๊มสุญญากาศสกรูแห้ง
- รูปทรงสามปุ่มช่วยชดเชยการสึกหรอด้วยรอยต่อที่ตัด ทำให้ระยะเวลาการบำรุงรักษานานขึ้น
- กำหนดให้ใช้กราไฟต์อัดซึมแอนติโมนีรุ่น M106D สำหรับความสามารถรับน้ำหนักเสียดสีแห้งและอุณหภูมิ
- ตรวจสอบความถูกต้องโดยการวัดการสึกหรอของผิวหน้าและประสิทธิภาพการเก็บสุญญากาศ
4. ตารางเลือกปั๊มสุญญากาศและการส่งเสริมการขาย
ตารางมาตรฐานการเลือกตลับลูกปืนแรงดันสามปุ่มสำหรับปั๊มสุญญากาศสกรูแห้ง Huahao HH-VTL:
| รุ่น | ปั๊มที่เข้ากันได้ | เส้นผ่านศูนย์กลางเพลา φ (มม.) | แรงดันแกนสูงสุด (กิโลนิวตัน) | ขีดจำกัด PV แห้ง (MPa·ม./วินาที) | อายุการใช้งานรับประกัน (ชั่วโมง) | การใช้งานทั่วไป |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HH-VTL-30 | Edwards GV25 / Busch Mink MM114 | 25–35 | 1.8 | 2.5 | ≥12,000 | ปั๊มห้องปฏิบัติการ, เครื่องมือวิเคราะห์ |
| HH-VTL-60 | Edwards GV80 / Leybold DV650 | 40–55 | 5.0 | 2.8 | ≥10,000 (กรณีนี้) | ระบบระบายอากาศโรงงานเซมิคอนดักเตอร์, การกู้คืน NMP จากแบตเตอรี่ลิเธียม |
| HH-VTL-80 | Edwards iXL120 / Busch COBRA NC630 | 60–80 | 9.0 | 2.6 | ≥9,000 | ระบบระบายอากาศ CVD/etch ขนาดใหญ่; PV PECVD |
| HH-VTL-120 | Edwards STP-iXA220 / Atlas Copco GV200 | 90–110 | 18 | 2.4 | ≥8,000 | เครื่องเป่าขนาดใหญ่; การอบแห้งสุญญากาศในอุตสาหกรรมยา |
| HH-VTL-CVD (รุ่นทนการกัดกร่อน) | แบบกำหนดเอง (กัดกร่อน F⁻/Cl⁻) | ทุกขนาด | ทุกขนาด | 2.5 | ≥8,000 | ก๊าซกัดกร่อนสำหรับ Etch/CVD (มีตัวเลือกเคลือบ CrN) |
บริการฟรีสำหรับการเปิดตัวปี 2025:
1.ทดลองใช้ฟรี: ปั๊ม 2 เครื่อง × 6 เดือน ต่อโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ / ลิเธียม / ยา คืนเงินเต็มจำนวนหากอัตราการสึกหรอ >0.01 มม./1,000 ชม.
2.ตรวจสอบการสึกหรอฟรี: เซ็นเซอร์วัดความหนาแหวนแรงดันแบบ Eddy-current ออนไลน์ Huahao HH-VacMonitor (ความแม่นยำ ±0.002 มม.); 2 โพรบต่อปั๊ม; ฟรี 100 เครื่องแรกในปี 2025 (มูลค่า ¥12,000/เครื่อง)
3.สนับสนุนการรับรอง SEMI: รายงานการทดสอบและชุดข้อมูลการปล่อยก๊าซที่สอดคล้องกับ SEMI S2 / S8 / F47 / F57 ฟรี
4.ความรับผิดเฉพาะโรงงาน: กรณีเกิดฝุ่นอนุภาคเวเฟอร์ ≥0.1 μm ที่เกิดขึ้นโดยตรงจากแหวนแรงดัน Huahao → ชดเชยมูลค่าเวเฟอร์ 50% ต่อล็อต (สูงสุด ¥5 ล้าน/ล็อต; คุ้มครองโดยประกันความรับผิดผลิตภัณฑ์เฉพาะทาง)
ซีรีส์ HH-VTL สามปุ่มได้รับการยอมรับในปั๊มสุญญากาศสกรูแห้งในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ แบตเตอรี่ลิเธียม และโรงงานยา รวม 1,270 เครื่อง ปฏิบัติงานสะสมกว่า 58 ล้านชั่วโมง ความพึงพอใจ 99.3% ไม่มีข้อร้องเรียนเรื่องการปนเปื้อนเลย